1.測量范圍：電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可擴展)；方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可擴展)；電導率：10^-5～10⁵s/cm；電阻：10^-5～10⁵ Ω；

2.可測晶片厚度：≤3mm

3.恒流源：電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

4.數(shù)字電壓表： 量程及表示形式000.00～199.99 mV；分辨力：10μV；輸入阻抗＞1000MΩ；精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

5.四探針探頭基本指標： 間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3％；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

6.模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)： 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±1字

7.整機測量標準不確定度： ≤4％

8.采用雙電測測試標準。

9.軟件功能：軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中。。

10.計算機通訊接口： 并行端口。

11. 外型尺寸：電氣主機：460mm×320mm×100mm；

12.重量:16KG；