SVZK-300型多功能真空實(shí)驗(yàn)儀是一個(gè)真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，適合于對(duì)學(xué)生開(kāi)展真空實(shí)驗(yàn)教學(xué)?？蛇M(jìn)行真空蒸鍍、磁控濺射，它也可以在高純

氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。用本設(shè)備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進(jìn)行成分分析。傳統(tǒng)的真空實(shí)驗(yàn)儀器大都由金屬部

件組成，很多主要的實(shí)驗(yàn)過(guò)程不直觀，學(xué)生只能通過(guò)儀表了解物理過(guò)程。本設(shè)備真空室部分采用高強(qiáng)度玻璃制造，儀器結(jié)構(gòu)緊湊合理，操作

簡(jiǎn)單，物理過(guò)程直觀，容易引起學(xué)生的興趣，利于提高學(xué)生的實(shí)驗(yàn)?zāi)芰屠碚撀?lián)系實(shí)際的能力。

可開(kāi)設(shè)的實(shí)驗(yàn)：
1、真空的獲得與測(cè)量；2、蒸發(fā)法薄膜制備  3、直流磁控濺射鍍膜

設(shè)備的組成：

        SVZK-300型多功能真空實(shí)驗(yàn)儀由電氣控制系統(tǒng)與真空系統(tǒng)組成，其中電氣控制系統(tǒng)包括控制電路、真空測(cè)量?jī)x與測(cè)量?jī)x表；真空系統(tǒng)

包括玻璃真空室、真空管路、真空機(jī)組（直聯(lián)機(jī)械旋片泵和分子泵構(gòu)成二級(jí)真空系統(tǒng)）、真空測(cè)量。